近日，上海万业企业股份有限公司(600641.SH)旗下控股子公司上海凯世通半导体股份有限公司(以下简称“凯世通”)向12吋集成电路新客户交付了首台面向CIS(CMOS Image Sensor)的大束流离子注入机。据悉，2024年一季度，凯世通每月向多家重复订单客户发货多台离子注入机设备，仅单季度搬入客户端即有8台离子注入机，展现了快速发展的强劲势头，实现了一季度开门红。
面向CIS的离子注入机出厂交付
专业人士指出，集成电路产业是电子信息产业的核心，是支撑国家经济社会发展的战略性、基础性、先导性产业，也是当前我国亟须重点突破的领域。离子注入机与光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备被称为芯片制造的“四大核心前道设备”。由于系统复杂、技术门槛高、工艺结果验证困难等各方面原因，我国在离子注入机环节的国产化率不足5%，国产替代市场空间广阔。
凯世通坚持以产业需求和技术创新为牵引，实现了低能大束流离子注入机、超低温离子注入机、高能离子注入机产业化和重复订单。此次攻克技术难度极高的CIS大束流离子注入机进一步表明凯世通在关键核心技术上具备持续自主研发创新的卓越能力，积极践行发展新质生产力，推动离子注入机技术突破与产品迭代。
凯世通表示，后续公司将在离子注入机领域继续深耕细作、创“芯”升级，丰富产品组合，以更优质的产品回馈客户，服务集成电路客户高质量发展。